石英晶体是离子型的晶体，由于结晶点阵的有规则分布，当发生拉伸或压缩时能产生电极化现象，称为压电现象。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切割类型，而且还取决于芯片的厚度。当芯片上镀了某种膜层，使芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参量的变化而监控淀积薄膜的厚度。
膜厚监控仪(FTM)是如何工作的呢？镀膜时，膜厚监控仪里面的晶振片的高速振动，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。
仪器参数：
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仪器尺寸 |
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
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重量 |
6Kg |
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可配套仪器 |
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
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晶片座 |
置晶片装置 |
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密度范围 |
1.55 to 23.0g/cm-3 |
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测控范围 |
5 to 999nm |
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镀碳时精度 |
0.8nm |
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镀金时精度 |
0.1nm |
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电源 |
230V 50 Hz (3 Amp Max) |
订购信息;
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货号 |
产品名称 |
规格 |
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91006 |
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. |
台 |
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91006-M |
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module |
台 |
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91008 |
Spare Crystals |
盒 |
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91009 |
Spare Glass Cylinder |
个 |
| 电话 010-52571502 010-51248120 邮箱 hedebio@163.com |
