EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪（Large Chamber Sputter Coaters）

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适合SEM（扫描电镜）、FE-SEM（场发射扫描电镜）、TEM（透射电镜）。

EMS300R T 与EMS150R T相似，明显区别是EMS300R T腔室足够大，达到283mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见EMS300T T）。

特征参数：

1、可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜

2、三个溅射头确保溅射沉积质量

3、单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜

4、多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选

5、选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚

6、全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便

7、可以储存不同用户的程序

8、能够记录100个最新镀膜细节

9、真空自动控制，且具有真空保持功能

10、落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）

11、最长60分钟不间断镀膜能力

12、符合人体工程学的整体注塑机身

13、电气符合CE要求

14、三年质保

样品台：

EMS300R T有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。

l 扁平样品台，用于晶圆的镀膜（152mm-203mm），标配

l 旋转样品台，50mm，不能倾斜

l 旋转倾斜样品台，50mm，高度可调（靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调），倾斜角度在0-30度之间

l 用于拨片的旋转台

l 加高腔室：需要时可以得到（付费）

仪器参数：

仪器外形尺寸	585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm)
重量	36.4kg
包装尺寸	725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg)
工作腔室	高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H
安全保护	整体PET套筒
显示	145mm x 320mm x 240mm TFT彩显
使用者界面	直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及最后100个镀膜方案日志记录
溅射靶材	标配三个57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A)

真空：

旋转真空泵	50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separately, 91005.
真空监测	皮拉尼测量
极限真空度	洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气
样品台	标配晶圆样品台，152mm-203mm，旋转速度可调
溅射	根据镀膜厚度或内置的计时器，溅射电流范围在0-80mA ，最长溅射时间不超过60分钟

其它重要信息：

需要气体	氩气 99.999%，氮气可选（排气时需要）
电源	90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. （注意电压的选择）
电气标准	符合电气CE认证要求

订购信息：

货号	产品名称	规格
EMS300R T	EMS300R T 大样品离子溅射镀膜仪Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard	EACH
91005	爱德华旋转真空泵（单独购买）Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter	EACH