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144nm高分辨2D校准标样(for AFM、STM、Auger、FIB、SEM)

硅片大小:4*3*0.5mm,图案由铝金属制的(高度大约90nm,宽75nm,此参数无校准,注意,其图案布满硅片),2D全息阵列,间距144nm,表层喷镀钨膜,精确度±1nm

  提供的产品有两种:Model 150-2DModel 150-2DUTC,其中的Model 150-2D校准标样, 带有制造商的认证, 不可溯源;Model 150-2DUTC校准标样, 认证, 可溯源, 提供证书(PTB,a German counterpart of NIST)。

我们推荐Model 150-2D,其独一无二的特性使应用非常方便,标样结实耐用,可以在接触模式扫描,提供快速校准和测量:

l  2D模式,X轴和Y轴同时校准

l  即使探针钝化也不影响像对比度

l  接触扫描可以得到高对比度像

l  整片布满式节省寻找扫描区域的时间

l  不仅仅高倍率应用,中等倍数5 kX时,单个圆体仍可清楚分辨

 

AFM Tapping Mode Scan

     

SEM Medium Magnification

订购信息:

货号

产品名称

规格

80125-2D

Model 150-2D, 144nm高分辨2D校准标样,Unmounted

80125-2D-X

同上,可以提供带销钉样品台的;或者专供AFM的(15mm不锈钢disk);或者指定样品台

80126-2D

Model 150-2DUTC144nm高分辨2D校准标样,Umounted

80126-2D-X

同上,可以提供带销钉样品台的;或者专供AFM的(15mm不锈钢disk);或者指定样品台

 

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